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真空チャンバーの構成機器選定ガイド|低コスト・クリーン・水分対策の3パターン

お知らせ

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真空システム構築について社内勉強会を実施しました。

テーマは、「真空システム構築に必要となる構成機器・部品の選び方」です。一方的な講義ではなく対話型形式の勉強会でした。ベテラン営業が講師となり、若手営業に質問しながら回答を導き、双方向でやり取りしていて活発な勉強会でした。 

事前に参加者へ「当日の議題」を宿題として配布し、各自が必要だと考える構成機器や部品を持ち寄って議論する形式を採用しました。

想定したお客様と条件

想定ユーザー

大学・官公庁・研究開発者様

条件

  1. SUS50Lチャンバーを 5×10 Pa まで真空引き
  2. 真空排気時間は不問
  3. 主排気ラインの配管径は 100A
  4. 真空排気処理ワーク取り出し次ワーク投入
  5. 全て手動操作

この条件をもとに、以下の3パターンで必要な構成機器・部品を選定するという課題に取り組みました。

パターン別:必要な構成機器・部品の考え方

【パターン1
低コスト重視/チャンバー内の雰囲気は気にしない

  • 価格を抑えるため、油回転ポンプ+油拡散ポンプなどの構成が候補に
  • チャンバー内の油蒸気の逆拡散などは許容
  • バルブ類もシンプルな構成でOK
  • メンテナンス頻度は増えるが、初期費用を抑えたい場合に適した構成

【パターン2
チャンバー内をクリーンに保ちたい/運用の手間を減らしたい

  • クリーン性を重視し、ドライポンプ+ターボ分子ポンプ構成が中心
  • 油蒸気の逆拡散がないため、研究用途でも安心
  • 冷却水が必要なく楽な取り回し

【パターン3
チャンバー内はクリーン/ワークの水分で排気時間が延びるのは避けたい

  • 水排気に強いクライオポンプ+ドライポンプ、又はクライオトラップ+ターボ分子ポンプ+ドライポンプを選定
  • 水分対策として、ドライポンプは水蒸気排気に強いモデルを選定
  • 必要に応じて予備排気ラインやバイパスラインを追加
  • 水分の多いワークでもタクトタイムを維持できる構成がポイント

勉強会の様子:活発な議論と気づきの連続

今回の勉強会では、若手だけでなくベテラン営業も積極的に参加し、

  • 「へぇ、そういう考え方もあるのか」
  • 「なるほど、だからこの部品が必要なんだ」
  • 「このケースだとどうなる?」

といった声が飛び交い、終始活発な意見交換が行われました。

発言することで、自分の中の矛盾や理解不足に気づく場面も多く、 言語化することで理解が深まる という学びの効果を感じる勉強会でした。

メーカーごとの製品特性や、実際の現場での採用事例なども共有され、 若手からベテランまで、改めて真空システム構成の基礎と応用を再確認する良い機会となりました。

お客様の課題に、より的確に応えるために

当社では、今回のような勉強会を継続し、 「分かりやすく伝える力」 「現場で本当に役立つ提案力」 を磨き続けています。

こんなお悩みはありませんか?

  • 条件に合った真空機器の構成を提案してほしい
  • チャンバー内の真空環境を改善したい
  • ワークの状態(水分・ガス放出など)について相談したい
  • 現在使用中の真空機器に課題がある

もし一つでも当てはまる場合は、ぜひお気軽にご相談ください。製品知識だけでなく、現場での経験に基づいた本当に役立つアドバイスをご提供します。 

真空機器の導入・運用でお困りの方へ

お客様の現場に寄り添い、最適な構成・機器選定・運用方法をご提案します。 真空に関する疑問や不安があれば、どんなことでもお聞かせください。

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