真空設備を製作するお客様に真空ポンプ選定のアドバイス

お客様の課題

真空設備を制作しているお客様より、真空ポンプの機種選定のご相談をいただきました。大気圧から真空引きを開始して6秒以内に5,000Pa、30秒以内に100Paまで到達できるスペックの真空ポンプが欲しい。

三弘エマテックの提案

お客様が希望される真空ポンプの種類（ドライorウェット）、チャンバー容積、配管の長さ・径、その他の情報についてヒアリングを実施。その内容をもとに、排気シミュレーションを行い、条件を満たすことのできる小型ポンプを2機種提案。排気シミュレーションの結果をご説明して、ご提案した2機種の内、1機種のポンプを採用いただきました。