お客様の課題
お客様は、He検査装置を使用したボンビング法による検査の際に、毎回Heを大気に放出してしまうことに課題を抱えていました。その結果、装置内がHeリッチな状態となり、バックグラウンド上昇への対策が必要となっていました。
また、Heボンベの消費が激しく、1日に約10本の交換が必要で、ランニングコストの増加も大きな問題となっていました。
この状況を改善するために、雰囲気調整やコストダウンが求められていましたが、Heの放出を前提とした現状では根本的な解決が難しい状態にありました。エアーブロー対策では十分な効果が得られず、Heを放出しない新たな方法が必要とされていました。
三弘エマテックの対応
三弘エマテックは、He放出の問題を根本から解決するため、He回収装置の導入を提案しました。加えて、現在の配管を見直すことで、回収効率を最大化。導入時にはイニシャルコストがかかるものの、Heボンベの消費量が大幅に削減され、数年で装置価格の回収が可能な見込みとなりました。
He回収装置の導入により、環境改善とコストダウンを同時に実現。Heの回収率は96%を達成し、Heボンベの交換頻度は 1日10本から1週間に1本へ と劇的に削減。これにより、ランニングコストを大幅に抑えることができました。
長期的な運用コストの削減と作業環境の改善を目指す企業にとって、効果的なソリューションとなることを証明しました。He消費の最適化やコストダウンをお考えの方は、ぜひご相談ください。
真空機器に関して相談先にお困りの企業様へ
この事例でご紹介したような真空機器に関することで、どこに相談したら良いかお困りの時は、ぜひお気軽にお問合せください。お客様に最適な解決策をご提案いたします!