メンテナンス終了製品でも復活可能！真空機器の調査と整備でコストを削減

導入までの背景

当社では製品製造過程で欠かせない装置として、走査電子顕微鏡（SEM）を使用しています。この顕微鏡は、真空中で試料表面をスキャンすることで、三次元的な構造観察を可能にする重要な機器です。

しかし、ある日、SEMが突如として「真空度異常エラー」を起こし、使用不可能な状態に陥りました。さらに困ったことに、このSEMは購入から長い年月が経過しており、メーカーのメンテナンスサポートも終了していました。新規購入は予算的に厳しく、非常に頭を悩ませていたところ、以前から取引のあった調達担当者より「真空関連の専門家である三弘エマテックに相談すれば解決できるかもしれない」との助言をいただきました。

お客様の要望

新しい装置の購入は予算的に難しいため、現行のSEMを復活させる方法を模索したい。その際にはコストを極力抑え、長期的に安定運用できる状態にしたい。

三弘エマテックの対応と改善ポイント

1. 原因の徹底究明

SEMに使用されている真空ポンプ（ロータリーポンプとターボ分子ポンプ）の異常箇所特定やリークテストを実施。結果としてリークは認められず、ターボ分子ポンプが主な原因であることを突き止めました。

2. 柔軟な対応とコスト管理

調査費用を可能な限り抑えつつ、概算見積の分割対応や必要機器のレンタルを提案。お客様の予算に寄り添った形でのサポートを行いました。

3. 標準整備による復旧

古いターボ分子ポンプは、標準整備を実施し無事に復旧。エラーが消え、SEMの通常運用が可能となりました。

結果とお客様の声

問題発生から約5カ月、SEMは完全復旧を遂げ、再び製造工程で活用できるようになりました。結果的に、コストを抑えつつも最大限の効果を得られました。三弘エマテックさんには、手厚いサポートで非常に助けられました。私たちの都合に合わせた提案や柔軟な対応に大変感謝しています。また何か困ったことがあれば、是非相談したいと思っています。

～私が担当しました～　三弘エマテック㈱ 三重営業所　岡