特長
- 冷却水は不要で、空冷ファンによる空冷方式を採用
- 壁コンセント（AC100V 15A）で使用可能
- 加熱炉と加熱チャンバ、温度制御器が一体化した卓上型
- 赤外線ゴールドイメージ炉のクリーンな高速加熱と高速冷却
- 温度レシピはパソコンで簡単入力
- 加熱中の温度データをパソコン画面に表示可能
- デジタル流量計を標準装備し、N₂ガス、Arガス、乾燥空気の選択が可能
用途
- Siウエハ、化合物ウエハの高速加熱
- 光CVDの基板加熱などエレクトロニクス材料の高速加熱
- ガラス基板、セラミックス、複合材料などの熱処理
- 熱サイクル試験
- 金属材料の焼鈍
- コーティング膜の耐熱評価
- 有機材料、樹脂類の加熱、乾燥
仕様
| MILA-700AR | |
|---|---|
| 温度範囲 | RT～700℃（最高800℃） |
| 最高昇温速度 | 25℃/s ※RT～700℃範囲でノンコントロールフルパワー加熱時の平均加熱速度 |
| ガス温度分布 | ΔT = 10℃（700℃保持中） |
| 加熱雰囲気 | 大気中、真空中、不活性ガス中 |
| 試料寸法 | W20mm × L20mm × t2.0mm MAX |
| 温度制御センサ | JIS熱電対 K |
| ランプ定格 | 赤外線ランプ 100V 375W × 4本 |
| 外形寸法 | 約W360mm × D300mm × H310mm（突起物除く） |
