特長
- 試料板の表面リーク抵抗は、リング状のガード電極を設けることにより除去されるので正確な測定が可能
用途
- ガラス、半導体ガラスの研究開発
- ジルコニア断熱材の絶縁性評価
- プラスチック絶縁物の耐熱性の評価（ダイボンド、モールド用材）
仕様
| EHR-2000RH | EHR-2000L | EHR-5000 | |
|---|---|---|---|
| 温度範囲 | RT～1000℃ | -150～200℃ | RT～500℃ |
| 測定方式 | 3端子法 | 3端子法 | 3端子法 |
| 測定範囲 | 10²Ω～10¹⁵Ω | 10²Ω～10¹⁵Ω | 10²Ω～10¹⁷Ω |
| 試料寸法 | φ20mm×厚2～5mm | φ20mm×厚2～5mm | φ50mm×厚0.5mm |
| 測定雰囲気 | 不活性ガス中、大気中、真空中（オプション） | 不活性ガス中、大気中、真空中（オプション） | 不活性ガス中、大気中、真空中（オプション） |
