特長
- 他のポンプでは得られないクリーンな真空が得られます。
- すべての期待が排気できます。
- 液体窒素が不要なので安いランニングコストでご使用頂けます。
- どのような方向にも取り付けられます。
- コンパクトなデザインで軽量です。
- 操作が簡単です。
- イオンポンプやターボ分子ポンプに比べて大きな排気速度が得られます。
用途
- 真空蒸着装置
- スパッタリング装置
- イオン注入装置
- 半導体プロセス装置
- 加速器
- 核融合装置
- 表面分析装置
- スペースチャンバ
- その他清浄な高真空、超高真空が要求される装置
仕様
| CRYO-U4H | CRYO-U6H | CRYO-U8H | CRYO-U10H | CRYO-U12H | CRYO-U16/U16P | CRYO-U20P | CRYO-U20H | CRYO-U22P | CRYO-U22WB | CRYO-U22H | CRYO-U30H | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 排気速度（20℃） | 窒素450L/s | 窒素750L/s | 窒素1,700L/s | 窒素2,400L/s | 窒素4,000L/s | 窒素5,000L/s | 窒素10,000L/s | 窒素10,000L/s | 窒素11,500L/s | 窒素13,000L/s | 窒素17,000L/s | 窒素28,000L/s |
| 到達圧力 | 10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr) | 10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr) | 10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr) | 10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr) | 10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr) | 10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr) | 10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr) | 10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr) | 10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr) | 10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr) | 10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr) | 10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr) |
| 吸気口フランジ | ISO-K DN100 | UVG-150 UFC-203 |
UVG-200 6BANSI UFC-253 |
UVG-250 | UVG-300, 10BANSI | UVG-400 | UVG-500 | UVG-500 20BANSI ISO-500 |
UVG-550 | UVG-550 | UVG-550 | VG-750 |
| メンテナンス インターバル |
16,000時間 | 16,000時間 | 16,000時間 | 16,000時間 | 16,000時間 | 16,000時間 | 16,000時間 | 16,000時間 | 16,000時間 | 16,000時間 | 16,000時間 | 16,000時間 |
