特長
- ・炉内温度の制御はPIDプログラム制御
- ・炉形式は縦形、横形、横割形の3タイプ
- ・均熱性の良い粗密な発熱体配置
- ・炉内圧力は10⁻³Pa~加圧0.96MPaまで対応
- ・使用用途に応じた多様なトラップ機構
仕様
焼成・焼結 | 脱脂・炭化・焼結・焼成 | ロウ付・焼入・焼純 | |
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最高温度 | 2400℃ | 2000℃ | 1300℃ |
有効寸法 | φ100XH100 | φ200XH200 | φ300XH350 |
真空度・雰囲気 | 10Pa, N₂・Ar | 10⁻³Pa, N₂・Ar | 10⁻³Pa, N₂・Ar |