特長
大気から超高真空までを一つの真空計で連続して自動計測できます。荒引き用と高真空用のそれぞれの真空計に加えて、チャンバーを大気に戻す（パージ）ための真空スイッチ（大気圧センサー)を使用して別々に測定していた圧力計測システムが、このCC-10ワイドレンジ真空計1台で可能になります。
CC-10用圧力データロガーソフト P-LOGGER
CC-10での測定圧力をグラフ表示/記録するソフト。装置の排気特性をリアルタイムでビジュアルに監視が行え、記録ができる。
- レファレンスデータの表示
- データ記録
仕様
| CC-10 | |
|---|---|
| 圧力測定範囲 | 1.0×10⁻⁷Pa ～ 大気圧（10⁵Pa） |
| 測定方式 | 大気圧および荒引き：水晶真空センサー 高真空：デュアルインバーティドマグネトロン方式コールドカソードゲージ ※圧力レンジにより自動切替 |
| セットポイント | 3点（ヒステリシス付） DC50V、0.12A フォトモスリレー：独立1点、共通コモン2点 |
| 入力電圧 | DC22～26V（100VACアダプタオプションあり） |
| 消費電力 | 最大8W |
| 取り付けフランジ | NW25 または CF70（回転） |
| コネクタ | Dsub15ピン（メスコネクタ付属） |
| 寸法 |
94X70X160mm、840g(NW25フランジ仕様)
|
| 重量 | 1,060g(ICF70フランジ仕様) |