特長
電流値1nA（オージェ分析可能）でAES分解能≦8nm
SEM分解能≦3nm、AES分解能≦8nm
同軸円筒鏡型アナライザ（CMA）による高感度・高スループット分析
- 同軸円筒鏡型アナライザ
- 複雑な形状の試料に対応
AESによる化学状態マッピング
- スペクトルマップ
- 高エネルギー分解能オージェマップ
Windows®対応ソフトウェア
- Smartsoft-AES（制御用ソフトウェア）
- PHI MultiPak（データ解析ソフトウェア）
仕様
| PHI 710 | |
|---|---|
| 構成 | 装置本体 / 電気系本体 / コンピューター用テーブル |
| 装置本体重量 | 1,100kg |
| 電気系本体・テーブル重量 | 480kg |
| 搬入間口 | 幅92cm以上、高さ194cm以上 |
| 電力 | 200-230V 単相 50A 50/60Hz 1系統 |
| SEM像分解能（25kV） | ≦3nm |
| AES空間分解能（20kV, 1nA） | ≦8nm |
| 感度 | 700kcps(CulM)@10kV, 10nA |
| SEM倍率 | X45（加速電圧3kV）～X1,000,000mmまで可能 |
| ステージ可動範囲 | X,Y軸ともに±25mm |
| イオン銃加速電圧 | 0～5kV可変 |
| イオン銃ラスター範囲 | 最大4mm×4mm |
| 到達圧力 | 6.7×10⁻⁸Pa以下 |
オプション
- 6試料パーキング
- 試料冷却破断機構
- EBSD
- 反射電子検出器
- イントロカメラ
- イントロゲージ
- トランスファーベッセル
- サーモバルブ
