特徴
- 使用したHeを効率良く回収し再利用
- He検査設備多数と回収装置1台のマルチ接続が可能
- 再精製ユニットは既存回収設備に接続可能
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対象:Heガス使用設備(他ガスにも対応可)
回収率:80~99%(再精製ユニット使用時)
吐出圧力:低圧 ~1.0MPa・G / 超高圧 ~120MPa・G
運用濃度:20~95%
濃度監視:標準装備
装置設定タッチパネル:標準装備
混合装置(N2、Air等):オプション
再精製ユニット:オプション

ポンプ補器設備・装置その他装置

ポンプ補器設備・装置その他装置

ポンプ補器油回転真空ポンプその他装置
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