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※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値より引用
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

高真空アングルバルブ 自動:複動・単動[ノーマルオープン・クローズ]│入江工研社製(1FLV SERIES)

※価格についてはお問い合わせください。

入江工研社製「1FLV SERIES」は、高真空対応の自動アングルバルブです。複動・単動(ノーマルオープン/ノーマルクローズ)タイプをラインナップし、ISO規格NWフランジ付き。使用圧力は大気圧~1×10⁻⁶Pa、リーク量は1×10⁻¹⁰Pa・m³/s以下、寿命は自動タイプで10万回、長寿命LXタイプは100万回。主要部はSUS304・SUS316L製で耐食性・信頼性も抜群です。

特長

自動型の種類

複動D、単動C(ノーマルクローズ)、単動O(ノーマルオープン)の3タイプを用意しています。用途に応じた駆動方式の選択が可能です。

LX:長寿命タイプ

LXは耐久性に優れた長寿命仕様で、繰り返し使用においても安定した性能を維持します。

型式・フランジ

型式 フランジ
(LX)1FLV-25C0 NW25
(LX)1FLV-40C0 NW40
(LX)1FLV-50C3 NW50
(LX)2FLV-70C0 CF70

仕様

1FLV SERIES
使用圧力 大気圧~1×10⁻⁶Pa
リーク量 <1×10⁻¹⁰Pa・㎥/s
寿命回数 ☐FLV(自動)10万回 ☐(LX)FLV(自動)100万回
操作圧力 0.5~0.6MPa(自動)
ベークアウト温度(耐熱温度) バルブボディ:120℃(MAX)
ニューマチックアクチュエータ:65℃(MAX)
電磁弁付きの場合:50℃
主要構成材料 バルブボディ:SUS304
ベローズ:SUS316L(☐FLV)
ハステロイ®C-22(LX-☐FLV)
シリンダ:アルミニウム
弁座シール:バイトン®
ボンネットシール:バイトン®

この製品を導入した実績

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