特長
- ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好
- メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能
- 蒸発電源・電極の追加により同時蒸着。多層蒸着が可能
- EB仕様への変更で高融点材業の成膜が可能
- キャスター付で、移動が容易な蒸着装置
- アジャスター付で、設置の安全性を確保
仕様
| VPC-1100 | |
|---|---|
| 到達圧力 | 4.0×10⁻⁴Pa（1.3×10⁻⁴Pa 液体窒素使用時） |
| 排気時間 | 4.0×10⁻³Pa台 / 10min（液体窒素使用時） |
| 真空槽 | |
| 真空槽 | ガラスベルジャー（内径φ390mm×高さ350mm） |
| フィードスルーカラー | 20ポート（側面14 / 底面6） |
| 基板推奨サイズ・最大サイズ | □50mm・□220mm（Max） |
| 排気系 | |
| メインポンプ | 油拡散ポンプ（水冷） 1100L/sec |
| 液体窒素トラップ | 有り |
| 補助ポンプ | 油回転真空ポンプ 200L/min × 2台 |
| オイルミストトラップ | オプション |
| 設置 | |
| 最大寸法（本体） | W1235mm×D836mm×H2155mm |
| 電源 | 装置本体収納 |
| 質量（本体） | 313kg |
| 質量（電源） | 装置本体収納 |
