特長
大排気量でコンパクトサイズのドライ真空ポンプです。
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプです。
用途に合わせて選べる豊富なラインナップを揃えています。
- 自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計です。
- 大気圧から作動が可能です。
- シンプル構造で、メンテナンスが容易です。
用途
近年の半導体製造産業、エレクトロニクス機器産業の急速な発展に伴い、ダイアフラム真空ポンプの需要も拡大
- ICのウェハ吸着装置
- 真空チャック
- フィルム吸着
- 自動機械
- 包装機械
- 光学機械
- 真空ピンセット
- 医療用機械
- 印刷機械
- 真空排気
- 真空濃縮
- ろ過
- 脱ガス脱泡
仕様
| DOP-40D | DOP-80SP | DOP-80SP（加圧専用） | DOP-120SY・120SX ( SY/SXの差異は吸排気口位置のみ) |
DOP-181SA | DOP-181SB | DOP-181SC | DOP-181SD | DOP-181SE | DOP-301SB | DOP-400SB | DOP-420SA | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 実行排気速度 | 50Hz⇒40L/min 60Hz⇒44L/min |
50Hz⇒80L/min 60Hz⇒88L/min |
50Hz⇒80L/min 60Hz⇒84L/min |
50Hz⇒120L/min 60Hz⇒140L/min |
50Hz⇒180L/min 60Hz⇒200L/min |
50Hz⇒180L/min 60Hz⇒200L/min |
50Hz⇒180L/min 60Hz⇒200L/min |
50Hz⇒180L/min 60Hz⇒200L/min |
50Hz⇒180L/min 60Hz⇒200L/min |
50Hz⇒300L/min 60Hz⇒330L/min |
50Hz⇒400L/min 60Hz⇒440L/min |
50Hz⇒420L/min 60Hz⇒460L/min |
| 到達圧力 | 絶対圧⇒1.2×10³Pa ゲージ圧⇒-100.1kPa |
絶対圧⇒5.33×10³Pa ゲージ圧⇒-96.0kPa |
加圧圧力：ゲージ圧⇒0.5MPa | 絶対圧⇒8.0×10³Pa ゲージ圧⇒-93.3kPa |
絶対圧⇒10.0×10³Pa ゲージ圧⇒-91.3kPa |
絶対圧⇒10.0×10³Pa ゲージ圧⇒-91.3kPa |
絶対圧⇒10.0×10³Pa ゲージ圧⇒-91.3kPa |
絶対圧⇒10.0×10³Pa ゲージ圧⇒-91.3kPa |
絶対圧⇒10.0×10³Pa ゲージ圧⇒-91.3kPa |
絶対圧⇒8.0×10³Pa ゲージ圧⇒-93.3kPa |
絶対圧⇒12.0×10³Pa ゲージ圧⇒-89.3kPa |
絶対圧⇒17.3×10³Pa ゲージ圧⇒-84.0kPa |
| 使用電動機 | 単相、100V、210W、4P、コンデンサ運転 | 単相、100V、210W、4P、コンデンサ運転 | 単相、100V、300W、4P、コンデンサ運転 | 三相、200~220V、120W、4P | 単相、100V、400W、4P | 単相、115V、400W、4P | 単相、200V、400W、4P | 単相、220V、400W、4P | 三相、200~220V、400W、4P | 三相、200~230V、400W、4P | 三相、200~220V、400W、4P | 三相、200~220V、550W、4P |
| 全負荷電流 | 50Hz⇒3.2A 60Hz⇒3.9A |
50Hz⇒3.2A 60Hz⇒3.9A |
50Hz⇒5.0A 60Hz⇒5.5A |
50Hz⇒1.4/1.6A 60Hz⇒1.4A |
50Hz⇒6.3A 60Hz⇒5.8A |
50Hz⇒5.3A 60Hz⇒5.1A |
50Hz⇒3.2A 60Hz⇒2.9A |
50Hz⇒2.9A 60Hz⇒2.6A |
50Hz⇒2.0～1.9A 60Hz⇒1.9～1.8A |
50Hz⇒2.1A 60Hz⇒2.5A |
50Hz⇒2.4A 60Hz⇒2.8/2.7A |
50Hz⇒3.5A 60Hz⇒3.1/3.2A |
| 吸・排気口径 (メネジサイズ) |
O.D.Φ9mm×I.D.Φ5mm(Rc1/4) | O.D.Φ9mm×I.D.Φ5mm(Rc1/4) | O.D.Φ9mm×I.D.Φ5mm(Rc1/4) | Rc1/4 | Rc3/8 | Rc3/8 | Rc3/8 | Rc3/8 | Rc3/8 | O.D.Φ16mm×I.D.Φ12mm(Rc1/2) | O.D.Φ16mm×I.D.Φ12mm(Rc1/2) | O.D.Φ26mm×I.D.Φ20mm(Rc3/4) |
| 使用雰囲気温度 | 7～40℃ | 7～40℃ | 7～40℃ | 7～40℃ | 7～40℃ | 7～40℃ | 7～40℃ | 7～40℃ | 7～40℃ | 0～40℃ | 0～40℃ | 0～40℃ |
| 最大寸法 | W160×D270×H179mm | W160×D270×H179mm | W168.5×D288×H181mm | W139.5×D255×H167mm | W172×D266×H235mm | W172×D266×H235mm | W162×D266×H235mm | W162×D266×H235mm | W160×D266×H235mm | W315×D443×H231mm | W315×D443×H231mm | W310×D523×H253mm |
| 重量 | 7.0Kg | 7.0Kg | 7.0Kg | 6.4Kg | 12.0Kg | 12.0Kg | 12.0Kg | 12.0Kg | 12.0Kg | 20.0Kg | 20.0Kg | 33.0Kg |
| RoHS対応 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
※ 電源コードおよび電源プラグは付属していません。電源用リード線のみ付属しています。
※ 装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付けてください。防振ゴムの取付ネジサイズはM5×P0.8となります。ポンプ側へ取付られる防振ゴムのネジの長さは10mmを超えないようお願いいたします。
※ 吸気管および排気管は付属していません。
