特長
カスタムコントローラー
専用ボタン1つでポンプの起動・停止が可能です。読み取りやすく正確なディスプレイを搭載しており、TAVベントバルブを取り付けた場合は、ベントモードを選択するだけで自動ベントが行われ、ユーザーの操作は不要です。
高性能バックポンプ
高性能なバックポンプとして、油回転真空ポンプE2M1.5、ダイアフラム真空ポンプXDD1、そしてドライ真空ポンプmXDS3(スクロールポンプ)を用途に応じて選択可能です。
薄型でコンパクト
ゴム脚と側面の切り欠けベースプレートにより持ち運びが容易で、コンパクトな薄型設計ながら安定性に優れ、倒れにくい構造です。
ユーザー保守が可能
nEXT85(ターボ分子ポンプ)、E2M1.5(油回転真空ポンプ)、XDD1(ダイアフラム真空ポンプ)は、いずれもユーザー自身での保守が可能です。
内蔵エアークーラー
一体型エアークーラーが内部電源やポンプ、コントローラーを効果的に冷却し、複数のファンを設置せずに静音運転を実現します。
頑丈なメタルフレーム
フレームは全て金属製で構成されており、切れたり破損したりする心配がない強固な設計です。
吸気口フランジの選択肢
用途に応じて、NW40(KF40)、ISO63、CF63の中から適した吸気口フランジサイズを選択可能です。
仕様
T-Station85W(E2M1.5搭載) | T-Station85D(XDD1搭載) | |
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排気速度(N₂) | NW40(KF40)⇒47L/s ISO/CF63⇒84L/s |
NW40(KF40)⇒47L/s ISO/CF63⇒84L/s |
圧縮比(N₂) | >1×10¹¹ | >1×10¹¹ |
バックポンプ排気速度 | 50Hz⇒27L/min(1.6㎥/h) 60Hz⇒33L/min(2.0㎥/h) |
50Hz⇒20L/min(1.2㎥/h) 60Hz⇒25L/min(1.5㎥/h) |
到達圧力(CF) | <5×10⁻⁸Pa | <5×10⁻⁸Pa |
吸気口径 | NW40(KF40)、ISO63またはCF63 | NW40(KF40)、ISO63またはCF63 |
排気口径 | 外径11mmノズルまたは3/8インチBSP | サイレンサー付きまたは1/8インチBSP |
電源 | 単相100~120Vまたは200~240V | 単相100~120Vまたは200~240V |
リーク量 | <1×10⁻⁴Pa・L/s | <1×10⁻⁴Pa・L/s |
到達圧力時騒音レベル | 56dB(A) | 56dB(A) |
動作温度範囲 | 12~40℃ | 12~40℃ |
重量 | 21Kg | 17Kg |
寸法 | W395mm×D350mm×H270mm | W395mm×D350mm×H208mm |
オプション
- E2M1.5用オイルミストトラップ:EMF3
- N/O TAV5ベントバルブコネクタ
- N/C TAV5ベントバルブコネクタ
- ピラニ真空計:APG100 XLC NW16(測定可能圧力:101,325Pa~10-2Pa)
- インバーテッド マグネトロンゲージ:AIM X NW25(測定可能圧力:1Pa~10-7Pa)
- 広域ゲージ:WRG-S NW25(測定可能圧力:101,325Pa~10-7Pa)
- コンベクションゲージ:APGX-H NW25(測定可能圧力:133,300Pa~3×10-2Pa)
- 電源ケーブル:単相100V、2m、3ピンプラグ付き、定格125V、15A
- 電源ケーブル:単相200V、2m、プラグなし、定格250V、10A
- 単相空冷式ドライポンプnXLi110i:吸気口径⇒NW40またはNW50、電源⇒200~230V
- 単相空冷式ドライポンプnXLi200i:吸気口径⇒NW40またはNW50、電源⇒200~230V
- nXLi用電源ケーブル:2m、日本/北米仕様プラグ