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※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値より引用
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

排気セット│エドワーズ社製(ターボ分子ポンプステーションT-Station85)

※価格についてはお問い合わせください。

T-station85は、nEXT85Hターボ分子ポンプとダイヤフラム型またはロータリーポンプを組み合わせた、コンパクトで低コストなポンプステーションです。排気速度は47~84L/sで、新しいTAGコントローラによりワンタッチで起動・停止が可能です。真空計やベントバルブの制御、遅延起動設定にも対応し、使いやすさと高い汎用性が特長です。

特長

カスタムコントローラー

専用ボタン1つでポンプの起動・停止が可能です。読み取りやすく正確なディスプレイを搭載しており、TAVベントバルブを取り付けた場合は、ベントモードを選択するだけで自動ベントが行われ、ユーザーの操作は不要です。

高性能バックポンプ

高性能なバックポンプとして、油回転真空ポンプE2M1.5、ダイアフラム真空ポンプXDD1、そしてドライ真空ポンプmXDS3(スクロールポンプ)を用途に応じて選択可能です。

薄型でコンパクト

ゴム脚と側面の切り欠けベースプレートにより持ち運びが容易で、コンパクトな薄型設計ながら安定性に優れ、倒れにくい構造です。

ユーザー保守が可能

nEXT85(ターボ分子ポンプ)、E2M1.5(油回転真空ポンプ)、XDD1(ダイアフラム真空ポンプ)は、いずれもユーザー自身での保守が可能です。

内蔵エアークーラー

一体型エアークーラーが内部電源やポンプ、コントローラーを効果的に冷却し、複数のファンを設置せずに静音運転を実現します。

頑丈なメタルフレーム

フレームは全て金属製で構成されており、切れたり破損したりする心配がない強固な設計です。

吸気口フランジの選択肢

用途に応じて、NW40(KF40)、ISO63、CF63の中から適した吸気口フランジサイズを選択可能です。

仕様

T-Station85W(E2M1.5搭載) T-Station85D(XDD1搭載)
排気速度(N₂) NW40(KF40)⇒47L/s
ISO/CF63⇒84L/s
NW40(KF40)⇒47L/s
ISO/CF63⇒84L/s
圧縮比(N₂) >1×10¹¹ >1×10¹¹
バックポンプ排気速度 50Hz⇒27L/min(1.6㎥/h)
60Hz⇒33L/min(2.0㎥/h)
50Hz⇒20L/min(1.2㎥/h)
60Hz⇒25L/min(1.5㎥/h)
到達圧力(CF) <5×10⁻⁸Pa <5×10⁻⁸Pa
吸気口径 NW40(KF40)、ISO63またはCF63 NW40(KF40)、ISO63またはCF63
排気口径 外径11mmノズルまたは3/8インチBSP サイレンサー付きまたは1/8インチBSP
電源 単相100~120Vまたは200~240V 単相100~120Vまたは200~240V
リーク量 <1×10⁻⁴Pa・L/s <1×10⁻⁴Pa・L/s
到達圧力時騒音レベル 56dB(A) 56dB(A)
動作温度範囲 12~40℃ 12~40℃
重量 21Kg 17Kg
寸法 W395mm×D350mm×H270mm W395mm×D350mm×H208mm

オプション

  • E2M1.5用オイルミストトラップ:EMF3
  • N/O TAV5ベントバルブコネクタ
  • N/C TAV5ベントバルブコネクタ
  • ピラニ真空計:APG100 XLC NW16(測定可能圧力:101,325Pa~10-2Pa)
  • インバーテッド マグネトロンゲージ:AIM X NW25(測定可能圧力:1Pa~10-7Pa)
  • 広域ゲージ:WRG-S NW25(測定可能圧力:101,325Pa~10-7Pa)
  • コンベクションゲージ:APGX-H NW25(測定可能圧力:133,300Pa~3×10-2Pa)
  • 電源ケーブル:単相100V、2m、3ピンプラグ付き、定格125V、15A
  • 電源ケーブル:単相200V、2m、プラグなし、定格250V、10A
  • 単相空冷式ドライポンプnXLi110i:吸気口径⇒NW40またはNW50、電源⇒200~230V
  • 単相空冷式ドライポンプnXLi200i:吸気口径⇒NW40またはNW50、電源⇒200~230V
  • nXLi用電源ケーブル:2m、日本/北米仕様プラグ

この製品を導入した実績

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