特長
架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。
- 卓上に設置できるコンパクトなサイズで、ターボ分子ポンプを搭載しています。
- スイッチ操作だけで高真空排気が可能で、多層膜蒸着や基板回転もできる高い拡張性を持っています。
- 低融点金属の蒸着に最適です。
- 基礎研究開発等の実験用に最適で、クリーン排気であるため、クリーンルーム内でも使用できます。
仕様
| VTR-060M/ERH | |
|---|---|
| 到達圧力 | 10⁻⁴Pa |
| 排気時間 | 4.0×10⁻³Pa / 20min |
| 真空層 | 円筒型ガラスチャンバー（φ236mm×H250mm） |
| フィードスルーカラー | 7ポート（底面） |
| 基板推奨サイズ | □50mm ・ □120mm（Max） |
| 基板/電極間距離 | Max 200mm |
| 蒸発電極構成 | 1点式 |
| 蒸発電極 | SEREM PSE-150C・1 式 0～10V 80A（Max） |
| メインポンプ | ターボ分子ポンプ 60L/sec |
| 補助ポンプ | 油回転真空ポンプ 20L/min |
| オイルミストトラップ | OMT-050A |
| メインバルブ | オプション（バタフライバルブ） |
| 補助バルブ | オプション（三方向バルブ） |
| 自動リークバルブ | オプション |
| 操作 | 手動 |
| 膜厚計 | オプション（CRTM-6000G） |
| 最大寸法（本体） | 428(W) × 438(L) × 713(H) mm |
| 質量（本体） | 50kg |
| 最大寸法（電源部） | 480(W) × 435.3(D) × 149(H) mm |
| 質量（電源部） | 24kg |
