特長
- 高効率排気システムの採用により、φ1,300蒸着装置と比較し
成膜処理時間は＋10％程度 - 1バッチあたり基板収納数はφ1,300蒸着装置の2倍以上
- 設置面積の省スペース化、全高を抑えたコンパクト設計
- 広範囲照射が可能なグリッド式RFイオンソースを標準搭載でパレット全面の膜質が安定
用途
- 樹脂基板への反射防止膜形成
- 光学ミラー
仕様
| SGC-S1700シリーズ | |
|---|---|
| 処理方式 | バッチ式 |
| 排気ポンプ | 26インチDP×2＋RP＋MBP＋マイスナートラップ |
| 設置寸法 | W4,800㎜×D7,600㎜×H3,100㎜ |
| 装置重量 | 9,500kg |
| 電源容量 | AC200V（3φ） / 約135kVA |
| 真空槽サイズ | φ1,700㎜ |
標準搭載
- 水晶モニター COÅT LEADER
当社が長年培ってきた水晶デバイス製造装置の技術を生かし、ネットワークアナライザによる周波数測定方式を採用することで、高精度な膜厚監視、レート制御が可能。 - 高出力RFイオンソース ISGシリーズ
広範囲で安定した放電を可能にし、光学フィルターのノンシフト膜から樹脂基板への密着性改善まで、様々な用途でご使用可能。
