特長
油水分離エレメントを使用し、真空ポンプの油中の水分を連続的に排水可能。
用途
- 真空乾燥・真空凍結乾燥装置
- 真空蒸着装置
- 真空スパッター装置
- 各種CVD装置
- 化学・薬品・医療・食品装置
- 真空熱処理装置
- 真空溶解炉
- イオン注入装置
注)「GLD-280」へUFW-003を接続する際には、オイルフィルトレーションの吸入側にオイルクーラーを設置し、油温を下げる必要があります。
仕様
| UFW-003 | |
|---|---|
| ろ過流量(油処理能力) | 0.6/0.72L/min(50/60Hz) |
| 水分除去量(最大水分吸水能力) | 連続分離・手動排水 |
| 水分処理精度 | 100~200ppm(0.1mol/1エレメント) |
| 所要電力 | 単相 AC100V 25W(50/60Hz) |
| 本体重量 | 約8.4kg |
| 最大寸法 | W235mm×L270mm×H418mm |
| 所要油量 | 約1L |
| 摘要真空ポンプ容量 | 水分量による |
対応製品一覧
| 製品名 | 型式 |
|---|---|
| 油回転真空ポンプ GCDシリーズ | GCD-051X |
| 油回転真空ポンプ GCDシリーズ | GCD-136X |
| 油回転真空ポンプ GCDシリーズ | GCD-201X |
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