特長
極・超高真空対応
超高真空領域での排気特性を強化し、効率的な排気が可能です。
ISO規格のテストドーム使用
ISO規格に準拠したテストドームを使用し、10^-9 Pa台の到達圧力を実証しています。
希ガス排気強化型（AU型）
AU型ポンプは、アルゴンに対して2倍の排気性能を提供します（当社比較値）。
大きな排気速度
超高真空領域においても大きな排気速度を実現します。
短時間で超高真空領域まで排気可能
効率的な排気能力を持ち、超高真空領域まで短時間で排気できます。
超高真空領域における優れた起動特性
放電が超高真空領域まで持続し、起動特性が優れています。
極・超高真空環境の利用
極・超高真空環境において、優れた性能を発揮します。
用途
PSTシリーズのポンプは、以下のような用途で活用できます。
- 加速器
- 電子顕微鏡
- 電子線描画装置
- 振動を嫌う分析装置
仕様
一部モデルの例
| 型式 | PST-030CU / PST-030AU / PST-050CU / PST-050AU / PST-100CX / PST-100AX |
|---|---|
| 排気対象ガス | 活性ガス、希ガス |
| 再生排気速度 | 0.03m³/s ～ 0.10m³/s（N2ガスおよびAr測定時） |
| 到達圧力 | 10-9Pa |
| 印加電圧 | DC +7.5kV |
| 接続フランジ型式 | UFC070, UFC114, UFC152 |
| 使用環境 | 温度範囲 5～40℃、湿度範囲 85%以下（結露なきこと） |
| 推奨コントローラ | GST-07L-B （PSTシリーズのポンプを制御するための装置です。） |
※各モデルには異なる排気速度、印加電圧、内容積、およびその他の特性があり、用途に応じて選択できるようになっています。