特長
簡単にタッチ
- ディスプレイの複雑なメニューがなく使いやすいディスプレイ
- 直感的メニュー構造の最先端のマルチカラータッチスクリーン
手間なく簡単なログイン
- Wi-Fiを介してスマートフォンやタブレットから簡単にログイン
- マーケット唯一のポータブルディテクター
- ソフトウエアやアプリのダウンロードは不要
非常に高い感度
- 全てのPHOENIXシリーズには極めて高いヘリウム感度のULTRAモードを新たに搭載
- 非常に小さなリークも即座に検知、レスポンスタイムが大幅に短縮
一貫性と利便性
- 全てのパラメータを保存、他のPHOENIXリークディテクターにコピーが可能
- 簡単な内部または外部のロギングで測定値の紛失なし
- HDMIインターフェースにより追加の外部ディスプレイからリークをチェックが可能
用途
大学・研究所 、研究所、研究開発機器製造
- コンパクトなシステムで利用可能なスペースで最適に使用が可能です。
- インテリジェントリマインダーと便利なデータロギングオプション。
- ユーザーごとに簡単に切り替えが可能：ユーザープロファイルの設定とログインが簡単に行えます。
- 実験ごとに簡単に変更が可能：テスト設定を作成、10までのパラメーターの保存が可能です。
UHVアプリケーション ：粒子加速器、UHVコンポーネントとシステム、宇宙シュミレーション
- 全てのモデルで、最小リークレート：≤5×10-13乗Pa・㎥/s（≤ 5・10-12乗mbar・l/s）
- 非常に高い精度と信頼性の高い測定が可能です。
- 非常に低いバックグランドと、低いリークレートで素早く測定するためのインテリジェントゼロファンクション。
- ボリュームが大きい時でも素早く測定するための高い排気速度。
- オイルフリーのシステムとプロセス用途向けのドライバージョン。
産業用途：産業用システムと機械、冶金、工業炉、電機産業
- 非常に高い排気速度で大量生産に最適です。
- 過酷なプロセスでの堅牢性：高頻度での使用に耐用性がある実績のある産業用設計の頑丈なコンポーネント。
- リモートコントロールオプションが必要となる大型システムに対して、RC310またはWi-Fi機能を使用して、スマートフォンやタブレットからログインが可能です。
- 素早いオペレーション：数秒での素早い起動と指導準備が完了。
工業生産：分析機器、医療機器、食品・包装、自動車・航空機
- 高い品質要求に対応：一貫した高い精度のテスト結果のための信頼できる測定が可能です。
- 優れた効率性：異なるテストパーツのパラメーターの保存と簡単なアップロードが可能です。
- 素早いサイクルのための高いヘリウム排気速度。
半導体 ：半導体製造 、フラットパネルディスプレイ
- 測定時間短縮：数分で運転可能な状態となる素早い起動が可能です。
- 広い施設内で高い可搬性のある小型システムのシリーズがあります。
仕様
| PHOENIX Quadro | PHOENIX Quadroドライ | PHOENIX Vario | |
|---|---|---|---|
| 最小検知可能ヘリウムリークレート |
|||
| 真空モード | ≤5×10-13乗Pa・㎥/s （≤ 5・10-12乗mbar・l/s） |
≤5×10-13乗Pa・㎥/s （≤ 5・10-12乗mbar・l/s） |
≤5×10-13乗Pa・㎥/s （≤ 5・10-12乗mbar・l/s） |
| スニファーモード | <1×10-10乗Pa・㎥/s （＜1×10-9乗mbar・l/s） |
<1×10-10乗Pa・㎥/s （＜1×10-9乗mbar・l/s） |
<1×10-10乗Pa・㎥/s （＜1×10-9乗mbar・l/s） |
| 最小検知可能水素リークレート | |||
| 真空モード | ≤1×10-9乗Pa・㎥/s （≤ 5×10-8乗mbar・l/s） |
≤1×10-9乗Pa・㎥/s （≤ 5×10-8乗mbar・l/s） |
≤1×10-9乗Pa・㎥/s （≤ 5×10-8乗mbar・l/s） |
| スニファーモード | <1×10-8乗Pa・㎥/s （＜1×10-7乗mbar・l/s) |
<1×10-8乗Pa・㎥/s （＜1×10-7乗mbar・l/s) |
<1×10-8乗Pa・㎥/s （＜1×10-7乗mbar・l/s) |
| 表示測定単位（選択可能） | |||
| 圧力 | Pa、Torr、mbar、atm | Pa、Torr、mbar、atm | Pa、Torr、mbar、atm |
| リークレート | Pa・㎥/s、mbar・I/s、Torr・I/s、atm・cc/s | Pa・㎥/s、mbar・I/s、Torr・I/s、atm・cc/s | Pa・㎥/s、mbar・I/s、Torr・I/s、atm・cc/s |
| スニファーモード | ppm、g/a、oz/yr | ppm、g/a、oz/yr | ppm、g/a、oz/yr |
| リークレート表示範囲 | 1×10-13乗～1×10-2乗Pa・㎥/s （ 1×10-12乗～1×10-1乗mbar・l/s） |
1×10-13乗～1×10-2乗Pa・㎥/s （ 1×10-12乗～1×10-1乗mbar・l/s） |
1×10-13乗～1×10-2乗Pa・㎥/s （ 1×10-12乗～1×10-1乗mbar・l/s） |
| 最大吸気口圧力 | 1.5×10+3乗Pa（15mbar） | 1.5×10+3乗Pa（15mbar） | 1.5×10+3乗Pa（15mbar） |
| パーシャルフローポンプセット使用時 | 1×10+5乗Pa（1000mbar） | 1×10+5乗Pa（1000mbar） | 1×10+5乗Pa（1000mbar） |
| 排気プロセス中排気速度 | 50Hz ⇒41.6L/min（2.5㎥/h） 60Hz⇒ 50L/min（3.0㎥/h） |
50Hz⇒50L/min（3㎥/h） 60Hz⇒50L/min（3㎥/h） |
選択した補助ポンプによる |
| ヘリウム排気速度(真空モード時） | |||
| GROSSモード | 24L/min（0.4L/s） | 2.4L/min（0.04L/s） | – |
| FINEモード | 72L/min（1.2L/s) | 72L/min（1.2L/s） | – |
| ULTRAモード | ＞186L/min（＞3.1L/s） | ＞186L/min（＞3.1L/s） | ＞186L/min（＞3.1L/s） |
| 起動時間（スイッチオン後） | ≤110秒 | ≤110秒 | ≤110秒 |
| 質量分析計 | 180°磁場偏向型 | 180°磁場偏向型 | 180°磁場偏向型 |
| 検知可能質量 | 2amu・3amu・4amu | 2amu・3amu・4amu | 2amu・3amu・4amu |
| テストポート | – | – | バックポンプフランジ |
| 吸気口フランジ | DN 25ISO-KF | DN 25ISO-KF | DN 25ISO-KF |
| 外形寸法 | W495mm×D318mm×H475mm | W495mm×D318mm×H475mm | W486mm×D313mm×H380mm |
| 本体重量 | 41kg | 35kg | 25kg |
| 使用可能言語 | 英語、ドイツ語、日本語、韓国語、ロシア語、フランス語、イタリア語、スペイン語、ポーランド語、スイス語 | 英語、ドイツ語、日本語、韓国語、ロシア語、フランス語、イタリア語、スペイン語、ポーランド語、スイス語 | 英語、ドイツ語、日本語、韓国語、ロシア語、フランス語、イタリア語、スペイン語、ポーランド語、スイス語 |
