特長
サイズのバリエーションは、16A(5/8inch)から900A(36inch)までの広範なサイズを提供しています。
接続フランジタイプ
バルブは4種類の接続フランジタイプを備えています。
開閉メカニズムのバリエーション
バルブは複動・単動シリンダに手動まで、様々な開閉メカニズムを提供しています。
幅広いニーズへの対応
バルブのサイズ、接続タイプ、開閉メカニズムの組み合わせにより、多岐にわたる真空システムやプロセスに対応できます。
仕様
| VLP-SA仕様 | VLP-SB仕様 | VLP-MB仕様 | |
|---|---|---|---|
| 真空レベル | 大気圧から10^-5 Pa(abs) | 大気圧から10^-6 Pa(abs) | 大気圧から10^-8 Pa(abs) |
| 使用圧力範囲 | 大気圧から10^-5 Pa(abs) | 大気圧から10^-6 Pa(abs) | 大気圧から10^-8 Pa(abs) |
| 形状 | アングル | アングル | アングル |
| 駆動方式 | 複動 | 複動 | 複動 |
| ボディ材質 | ステンレス鋼（304） | ステンレス鋼（304） | ステンレス鋼（304） |
| 許容ベーキング温度 | 150 ℃ | 150 ℃ | 150 ℃（一部200 ℃） |
| 許容逆差圧 | 0.10 MPa *1 真空レベルと構造の関係は、「シール構造説明」を参照下さい。 *2 駆動部は60℃以下。（ ）内はバルブ“開”状態。 *3 単動NC・・・ノーマルクローズ。（圧空解放時に自動的にクローズ） |
0.10 MPa *1 真空レベルと構造の関係は、「シール構造説明」を参照下さい。 *2 駆動部は60℃以下。（ ）内はバルブ“開”状態。 *3 単動NC・・・ノーマルクローズ。（圧空解放時に自動的にクローズ） |
0.10 MPa *1 真空レベルと構造の関係は、「シール構造説明」を参照下さい。 *2 駆動部は60℃以下。（ ）内はバルブ“開”状態。 *3 単動NC・・・ノーマルクローズ。（圧空解放時に自動的にクローズ） |
| 弁板許容最大差圧 （正圧/逆圧） MPa |
0.10 | 0.10 | 0.10 |
| 弁開時許容最大差圧 （正圧/逆圧） MPa |
0.10 | 0.10 | 0.10 |
| 弁板シール方式 | Oリング | Oリング | Oリング |
| 軸シール方式 | VLP-SA: Oリング | VLP-SB: ベローズ | VLP-SB，VLP-MB: ベローズ |
| 駆動方式 | 複動シリンダ | 複動シリンダ | 複動シリンダ |
| リーク量（外部/内部）※1 | Pa・m3/s: ≦1.0E-10 | Pa・m3/s: ≦1.0E-10 | Pa・m3/s: ≦1.0E-10 |
| 使用圧力範囲 Pa（abs) | VLB-SA: 大気圧～1.0E-5 | VLP-SB: 大気圧～1.0E-6 | VLP-MB: 大気圧～1.0E-8 |
| ベーキング許容温度※2 ℃ | 本体: 150※3 | 本体: 150※3 | 本体: 150※3 |
| 駆動部 | 70 (センサー: 60) | 70 (センサー: 60) | 70 (センサー: 60) |
| 加熱及び冷却速度 ℃/h | ≦30 | ≦30 | ≦30 |
| 使用流体温度 ℃ | 5～70 | 5～70 | 5～70 |
| 使用流体 | 非腐食性流体 | 非腐食性流体 | 非腐食性流体 |
| 環境温度 ℃ | 5～70 (センサー: 5～60) | 5～70 (センサー: 5～60) | 5～70 (センサー: 5～60) |
| 環境雰囲気 | 非腐食性雰囲気、結露しないこと | 非腐食性雰囲気、結露しないこと | 非腐食性雰囲気、結露しないこと |
| シリンダ供給圧空圧力 MPaG | 0.40～0.60※4 | 0.40～0.60※4 | 0.40～0.60※4 |
| 保証動作回数※5 | 10,000 回 | 10,000 回 | 10,000 回 |
| 保証経過年数※5 | 納入後１年 | 納入後1年 | 納入後1年 |
| 運転姿勢 | 自由 | 自由 | 自由 |
| 開閉センサ取付 | オプション (別売) | オプション (別売) | オプション (別売) |
| 真空側主要部品材質 | ステンレス鋼（304） | ステンレス鋼（304） | ステンレス鋼（304） |
| 大気側主要部品材質 | ステンレス鋼（304）、アルミニウム（6061）+アルマイト | ステンレス鋼（304）、アルミニウム（6061）+アルマイト | ステンレス鋼（304）、アルミニウム（6061）+アルマイト |
| ベローズ材質 | ステンレス鋼（316L） | VLP-SB, VLP-MB:ステンレス鋼（316L） | VLP-SB, VLP-MB:ステンレス鋼（316L） |
| シール部品材質（真空側）※6 | VLP-SA, VLP-SB : FKM VLP-MB: 外部シール：メタル、内部シール：FKM |
VLP-SA, VLP-SB : FKM VLP-MB: 外部シール：メタル、内部シール：FKM | VLP-MB: 外部シール：メタル、内部シール：FKM |
| 油脂類（真空側） | VLP-SA, VLP-MB: フッ素グリス VLP-SB: ノングリス | VLP-SA, VLP-MB: フッ素グリス VLP-SB: ノングリス | VLP-SA, VLP-MB: フッ素グリス |
| 吊具取付部 | 無※7 | 無※7 | 無※7 |
| RoHS/SEC/EAR | 対応/非該当/非該当 | 対応/非該当/非該当 | 対応/非該当/非該当 |
※1 リーク量に Oリングの透過は含みません。また、Oリング軸シールの場合、開閉動作中の外部リーク量は規定対象外です。
※2 ベーキング中は開閉動作を行わないで下さい。
※3 VLP-MB 本体（開時）：200℃，本体（閉時）：150℃
※4 200A 以上は、0.50 ～ 0.60MPaG となります。
※5 保証動作回数、保証経過年数いずれかに到達するまでが保証期間となります。
※6 VLP-SA , VLB-SA についてはオプションで EPDM も用意致します。
※7 VLP-SA350JH は吊り具（アイボルト M12 × 2 個）が本体に取り付けられています。
VLP-U仕様
| VLP-U仕様 | |
|---|---|
| 真空レベル | 大気圧から10^-5 Pa(abs) |
| 使用圧力範囲 | 大気圧から10^-5 Pa(abs) |
| 形状 | アングル |
| 駆動方式 | 複動 |
| ボディ材質 | 炭素鋼（400）+Niメッキ |
| 許容ベーキング温度 | 60 ℃ |
| 許容逆差圧 | 不可 *1 真空レベルと構造の関係は、「シール構造説明」を参照下さい。 *2 駆動部は60℃以下。（ ）内はバルブ“開”状態。 *3 単動NC・・・ノーマルクローズ。（圧空解放時に自動的にクローズ） |
| 弁板許容最大差圧 | （正圧時）Mpa： 0.10 （逆圧時）Mpa： 対応できません |
| 弁開時許容最大差圧 | （正圧時）kPa： 1.0 （逆圧時）kPa： 対応できません |
| 弁板シール方式 | Oリング |
| 軸シール方式 | Oリング |
| 駆動方式 | 複動シリンダ |
| リーク量 | （外部）※1 Pa・m3/s ：≦ 1.3E-7 （内部）※1 Pa・m3/s： ≦ 1.3E-7 |
| 使用圧力範囲(絶対圧) Pa | 大気圧～1.0E-5 |
| ベーキング許容温度（静止時）※2 ℃ | 60 |
| 動作環境温度 ℃ | 5～40(センサー: 5～60) |
| 使用流体温度 ℃ | 5～40 |
| 加熱及び冷却速度 ℃/h | ≦ 30 |
| 使用環境雰囲気 | 非腐食性雰囲気 |
| 使用流体 | 非腐食性流体 |
| シリンダ供給圧空圧力 MPaG | 0.45～0.55 |
| 保証動作回数※3 | 10,000 回 |
| 運転姿勢 | 垂直 |
| 開閉センサ | オプション（別売） |
| 真空側主要部品材質 | 炭素鋼（400） Niメッキ |
| 大気側主要部品材質 | 炭素鋼（400） Niメッキ＋アクリル系塗装 |
| シール部品材質（真空側） | ニトリルゴム |
| 油脂類（真空側） | 高純度精製パラフィンオイル |
| 吊具取付部 | 無 |
| RoHS | 対応 |
※1 リーク量に Oリングの透過は含みません。また、Oリング軸シールの場合、開閉動作中の外部リーク量は規定対象外です。
※2 ベーキング中は開閉動作を行わないで下さい。
※3 詳細は取扱説明書を参照下さい。
