特長
コストパフォーマンス抜群の汎用仕様
高い性能を維持しつつ、コストを抑えた汎用モデルです。
測定質量数範囲
1～100 amu / 1～200 amu
表示部一体型設計
パソコンなしで測定可能、手軽に使用できます。
簡単操作「One Click 機能」
誰でも簡単に操作できるインターフェースで、スムーズな使用が可能です。
リークテスト機能
充実したリークテスト機能を搭載、精度の高い漏れ検出が可能です。
全圧測定が可能
全圧測定が可能で、広範囲な圧力測定ができます。
Qulee QCSソフトウェア標準搭載
Qulee QCSソフトウェアを標準搭載しております（Windows 8/10/11対応）。
CE標準対応
国際的な安全規格であるCE標準に対応しています。
用途
- 真空蒸着装置やスパッタリング装置などの成膜装置の残留ガス分析
- 高真空排気装置の残留ガス分析
- 凍結乾燥装置の残留ガス分析
- 研究開発向け各種ガス分析
仕様
Qulee BGM2シリーズ
| BGM2-101 | BGM2-102 | BGM2-201 | BGM2-202 | |
|---|---|---|---|---|
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | 四重極型質量分析計 | 四重極型質量分析計 | 四重極型質量分析計 |
| 質量数範囲 | 1～100 amu | 1～100 amu | 1～200 amu | 1～200 amu |
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子倍増管／ファラデーカップ | 二次電子増倍管ファラデーカップ | 二次電子増倍管／ファラデーカップ |
| 感度 | 10-7A/Pa | 4A/Pa | 4×10-7A/Pa | 4A/Pa |
| 最小検知分圧 | 10-8 Pa | 10-12 Pa | 10-8 Pa | 10-12 Pa |
| 最大使用圧力 | 1×10-2 Pa | 1×10-2 Pa | 1×10-2 Pa | 1×10-2 Pa |
| 全圧測定機能 | あり | あり | あり | あり |
| One Click機能 | あり（He/H2O/N2/O2/Any gas） | あり（He/H2O/N2/O2/Any gas） | あり（He/H2O/N2/O2/Any gas） | あり（He/H2O/N2/O2/Any gas） |
| リークチェック機能 | あり | あり | あり | あり |
| 電源電圧 | DC24V±10％ 50W | DC24V±10％ 50W | DC24V±10％ 50W | DC24V±10％ 50W |
| 最大ベーキング温度（センサユニット接続時） | 120℃ | 120℃ | 120℃ | 120℃ |
| 最大ベーキング温度（センサユニット脱着時） | 250℃ | 250℃ | 250℃ | 250℃ |
| 使用温度範囲 | 10～40℃ | 10～40℃ | 10～40℃ | 10～40℃ |
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows8/10/11対応） | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows8/10/11対応） | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows8/10/11対応） | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows8/10/11対応） |
| 適合規格 | CE | CE | CE | CE |
ガス分析計専用ソフトウェア：Qulee QCS Ver.4.2
| Qulee QCS Ver.4.2 | |
|---|---|
| 対応OS | Windows 8 / 10 / 11 |
| インターフェース | Ethernet |
| 接続センサ数 | 最大32ユニット（Ethernet対応）最大32台の同時制御が可能 |
| 対応機種 | Qulee BGM2、CGM2、HGM2、RGM2 |
| レシピ保存数 | 100（ユーザーエリア 70点） |
| 測定速度 | 50 / 100 / 200 / 500 / 1000 / 2000 msec/mass |
| 測定間隔 | 自動、0.5～1000 sec（トレンドモード）、1～1000 sec（スキャンモード） |
| 測定時間 | 連続／任意設定 |
| 測定モード | スキャンモード：任意の質量数範囲の質量スペクトルの計測 トレンドモード：分圧の時間変化を最大20ch計測可能 リークテストモード：ヘリウムリークテストがワンタッチで可能 アナログモード：質量数校正用のアナログ波形表示 感度校正モード：SEM検出器の感度校正 DEGASモード：イオン源のDEGAS制御（RGMのぞく） |
| ガス組成名表示 | スキャン・トレンドモードで表示可能 |
| 処理機能 | バックグラウンド処理、積分処理、データ結合 パスワードロック、SEM・イオンソースの予防保全管理 分析管トレーサビリティ管理（特許第5016031号） アナログデータ同時記録（2点） |
| アナログ入力 | 0～10V（2点） |
| 分圧セットポイント | 2chの分圧セットポイント（異常／警告）※トレンドモード時 |
| イオン化電圧設定 | 固定設定（HGM2：25～70eV、RGM2：20～70eV） |
| 状態監視 | エラー検出（通信異常、FIL断線、RF異常、SEM異常、インターロック作動 FIL／SEMの使用積算時間表示） |
| グラフ表示 | 縦軸：リニア／LOG切替、表示範囲選択[電流値(A)、分圧値(Pa)、濃度(ppm)] 横軸：質量数または時間、スクロール可、保存データの表示（測定中の表示も可能） 棒グラフ／折れ線グラフの同時表示可能 |
| データ保存 | 自動保存／測定終了後選択により保存 ファイル名に日時付加、任意名・保存場所指定可能 CSV形式対応、過去データ読込・保存も可能 |
| 印刷 | スキャン／トレンド／アナログ表示の印刷対応 印刷画面範囲の設定・データ色の設定・トレンドグラフ線径の設定可能 |
| オプション機能 | 上位通信：トレンドモードの測定データをホストコンピューターからの要求により、RS232C通信を介して送信することが可能 アナログ出力：トレンドモード測定中に、指定した質量数のデータを、測定間隔毎にアナログ出力。 |
| PC要求仕様 | Ethernetポート CPU：Core i5以上（8台以上はCore i7推奨） CD-ROMドライブ、HDD：30MB以上（データ除く） RAM：4GB以上 画面解像度：1280×1024以上 |
