特長
高温領域で均熱化
CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能となります。
URシリーズはHRシリーズよりも、さらなる高温化が可能となります。
ヘリウムタイト
キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全です。
瞬停対策
1000msec以内の瞬停対策を施しています。
優れた耐食性
主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用しており、腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐 食を低減します。
通信機能
ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング／アラーム履歴を読み出すことが可能です。専用ソフトを使用し、コンピュータ通信を行えば集中監視も可能となります。
用途
- CVD 装置
- エッチング装置
- アッシング装置
- ALD、ALH など
仕様
| HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 使用ポンプ | DRP HR60 | DRP HR90 | DRP HR60 MPB PRC-003A |
DRP HR90 MPB PRC-006A |
DRP HR90 MPB PRC-012A |
| 最大排気速度 | 50Hz 62m³/h(1030L/min) 60Hz 80m³/h(1333L/min) |
50Hz 112m³/h(1860L/min) 60Hz 126m³/h(2100L/min) |
50Hz 359m³/h(5980L/min) 60Hz 365m³/h(6080L/min) |
50Hz 653m³/h(10900L/min) 60Hz 701m³/h(11700L/min) |
50Hz 1012m³/h(16900L/min) 60Hz 1051m³/h(17500L/min) |
| 到達圧力 | 5Pa | 5Pa | 0.67Pa | 0.67Pa | 0.67Pa |
| 最大吸気口圧力 (吸入圧力) |
大気圧 | 大気圧 | 大気圧※1 | 大気圧※1 | 大気圧※1 |
| 最大排気口圧力 (排出圧力) |
1Pa~大気圧 | 1Pa~大気圧 | 1Pa~大気圧 | 1Pa~大気圧 | 1Pa~大気圧 |
| 吸気口(CE仕様) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG80(KF80) | VG100(KF100) |
| 排気口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 |
| 質量 | 180kg | 245kg | 275kg | 370kg | 420kg |
| 電力 | 三相 200VAC(50Hz/60Hz),220VAC(60Hz) | 三相 200VAC(50Hz/60Hz),220VAC(60Hz) | 三相 200VAC(50Hz/60Hz),220VAC(60Hz) | 三相 200VAC(50Hz/60Hz),220VAC(60Hz) | 三相 200VAC(50Hz/60Hz),220VAC(60Hz) |
| 電流値 | 定常時 7.1A(200V時) 最大値 7.3A(200V時) |
定常時 11.2A(200V時) 最大値 11.8A(200V時) |
定常時 7.8A(200V時) 最大値 8.1A(200V時) |
定常時 12.9A(200V時) 最大値 13.8A(200V時) |
定常時 15.4A(200V時) 最大値 18.9A(200V時) |
| 冷却水一時圧力 | 0.1~0.3MPa | 0.1~0.3MPa | 0.1~0.3MPa | 0.1~0.3MPa | 0.1~0.3MPa |
| 冷却水出入口差圧 | >0.1MPa | >0.1MPa | >0.1MPa | >0.1MPa | >0.1MPa |
| 冷却水流量 | >5.0L/min | >5.0L/min | >5.0L/min | >5.0L/min | >5.0L/min |
| パージガス 一次圧力 | 0.1~0.5MPa | 0.1~0.5MPa | 0.1~0.5MPa | 0.1~0.5MPa | 0.1~0.5MPa |
| パージガス 二次圧力 | 0.05~0.1MPa | 0.05~0.1MPa | 0.05~0.1MPa | 0.05~0.1MPa | 0.05~0.1MPa |
| N2パージ（軸） | 5SLM | 5SLM | 5SLM | 5SLM | 5SLM |
| N2パージ（ガスバラ） | 0~45SLM | 0~45SLM | 0~45SLM | 0~45SLM | 0~45SLM |
※1 HR300, HR600, HR1200は、200Pa以上の吸入圧での連続運転を行わないでください。
