特長
- 機械的な摺動部がなく丈夫な高真空ポンプです。
- 2種類のオイルとヒータの選定により、ご要求の排気速度、到達圧力を得ることが出来ます。
- 補助ポンプ側への作動液の流出防止機構を備えております。
用途
- 蒸着装置
- 高真空実験装置
仕様
| ULK-04A | ULK-04A | ULK-06A | ULK-06A | ULK-10A | ULK-10A | ULK-14A | ULK-14A | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 作動油※2 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 |
| 排気速度※1 | 550 L/sec | 500 L/sec | 1200 L/sec | 1100 L/sec | 3400 L/sec | 3000 L/sec | 5400 L/sec | 4900 L/sec |
| 到達圧力 | <2.6×10⁻⁵ Pa | <2.6×10⁻⁶ Pa | <2.6×10⁻⁵ Pa | <2.6×10⁻⁶ Pa | <2.6×10⁻⁵ Pa | <2.6×10⁻⁶ Pa | <2.6×10⁻⁵ Pa | <2.6×10⁻⁶ Pa |
| 臨界背圧 | 40 Pa | 60 Pa | 40 Pa | 60 Pa | 35 Pa | 40 Pa | 30 Pa | 30 Pa |
| 作業開始時間 | 9 min | 8.5 min | 16.5 min | 15 min | 20 min | 20 min | 25 min | 25 min |
| 油量 | 0.15 L | 0.15 L | 0.35 L | 0.35 L | 0.8 L | 0.8 L | 1.5 L | 1.5 L |
| 水温 | 19℃～25℃ | 19℃～25℃ | 19℃～25℃ | 19℃～25℃ | 19℃～25℃ | 19℃～25℃ | 19℃～25℃ | 19℃～25℃ |
| 冷却水取合 | Rc 1/4″ | Rc 1/4″ | Rc 1/4″ | Rc 1/4″ | Rc 3/8″ | Rc 3/8″ | Rc 3/8″ | Rc 3/8″ |
| 冷却水量 | 1 L/min | 1 L/min | 1 L/min | 1.5 L/min | 2.5 L/min | 3 L/min | 2.5 L/min | 3.5 L/min |
| 電圧仕様 | 200V / 1Φ | 200V / 1Φ | 200V / 1Φ | 200V / 1Φ | 200V / 1Φ | 200V / 1Φ | 200V / 1Φ | 200V / 1Φ |
| 所要電力 | 0.55 kW | 0.73 kW | 0.9 kW | 1.2 kW | 2.4 kW | 2.0 kW | 2.25 kW | 2.4 kW |
| ヒーター種類 | 熱盤 | 熱盤 | 熱盤 | 熱盤 | 熱盤 | 熱盤 | 熱盤 | 熱盤 |
| 推奨補助ポンプ※3 | GLD-020AA GLD280A PVD-180 PVD-360 |
GLD-020AA GLD280A PVD-180 PVD-360 |
VD30C VD40C VD60C |
VD30C VD40C VD60C |
VD90C VS1501 PKS-016 PKS-030 |
VD90C VS1501 PKS-016 PKS-030 |
VS1501 VS2401 PKS-030 |
VS1501 VS2401 PKS-030 |
| 吸気口 | VG100 | VG100 | VG150 | VG150 | VG250 | VG250 | VG350 | VG350 |
| 排気口 | VG25 | VG25 | VG40 | VG40 | VG80 | VG80 | VG80 | VG80 |
| 質量 | 7.5 kg | 7.5 kg | 13.5 kg | 13.5 kg | 47 kg | 47 kg | 56 kg | 56 kg |
| オイルレベルゲージ | 無し | 無し | 無し | 無し | ビューポート | ビューポート | ビューポート | ビューポート |
| サーモスタットオプション | 有り | 有り | 有り | 有り | 有り | 有り | 有り | 有り |
| サーモスタット設定温度 | 250℃ | 250℃ | 250℃ | 250℃ | 180℃ | 180℃ | 180℃ | 180℃ |
※1：到達圧力は電離真空計により、冷却水量20℃の場合となります。
※2：D-11は炭化水素系汎用油、D-31は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油となります。
※3：補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われおりますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当となります。
