特長
圧力表示器不要による省コスト・省スペース化
圧力表示器を省略することで、装置全体のコスト低減、制御盤周りの省スペース化、省配線化を実現しました。
測定子の交換が容易
測定子の交換が簡単に行える構造となっており、メンテナンス性にも優れています。
対応測定子の種類
WP-01、WP-02、WP-03、WP-16など、各種測定子に対応しています。
セットポイント出力
2点のセットポイント出力に対応しており、制御用途に活用できます。
測定値出力
DC0〜5Vの非線形出力で測定値を出力します。
電源仕様
DC24V入力で動作可能です。
用途
- 半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用
- 炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用
- インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用
仕様
| SP1 | |
|---|---|
| タイプ | センサユニット |
| 測定子 | WP-01（Φ18）、WP-02（Φ15）、WP-03（PT3/8）、WP-16（NW16） |
| 測定精度 | ±15 %（51 Pa ～760 Pa） ±30 %（10 Pa ～1000 Pa） ±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa） |
| 使用温度範囲 | 10～40℃ |
| サンプリング時間 | 50ms 5回の移動平均処理 |
| 測定値出力 | 非線形出力：DC0-5V（Max.10V） 更新時間：50 ms 分解能：10 mV |
| セットポイント1/2調整用出力 | 非線形出力：DC0-5V（Max.10V） |
| 制御出力信号 | オープンコレクタ、負論理 Error信号 セットポイント1/2 |
| LED表示 | パワー、エラー、セットポイント1/2 |
| 電源電圧 | DC24V±2V, 90mA（Max.） |
| 入出力コネクタ | D-sub-15P（M2.6 screw） |
| 本体質量 | 190g（測定子含まず） |
| 付属品 | 入出力コネクタ 1式 クイックマニュアル 1部 |
オプション
- 各種測定子：WP-01（Φ18）、WP-02（Φ15）、WP-03（PT3/8）、WP-16（NW16）
- 表示器：ISG1
- SP1・ISG1接続用ディスプレイケーブル及びACアダプタ
