特長
- 3D測定速度が従来システムの2倍以上
- 高い直進性を実現するガラスブロックゲージを採用
- 高い剛性を実現するシングルアーチ型設計
- 電気ノイズを抑制するスマートエレクトロニクスを採用
- 同一ヘッドでZ方向1nm~1mmの測定を実現
- 直感的な操作が可能なユーザーインターフェイス：Vision64
- 手動、電動のセットが選択可能
- 豊富なオプション群から必要な機能を拡張可能
仕様
| DektakXT-E | DektakXT-S | DektakXT-A | |
|---|---|---|---|
| 触圧レンジ | 1mg~15mg | 1mg~15mg | 1mg~15mg |
| Z方向分解能 | 0.1nm | 0.1nm | 0.1nm |
| 段差再現性 | 0.4nm(30回連続測定時の1σ） | 0.4nm(30回連続測定時の1σ） | 0.4nm(30回連続測定時の1σ） |
| 試料ステージ | XY手動4inch | XY手動4inch 360°回転 | XY電動6inch 360°回転 |
| 試料サイズ | 最大4inch | 最大8inch | 最大8inch |
| 制御解析ソフトウェア | Vision64基本機能 | Vision64基本機能 | Vision64基本機能 |
| 用途 | 粗さ解析 ストレス計算 ベアリングレシオ解析 ヒストグラム解析 段差値自動計算 |
粗さ解析 ストレス計算 ベアリングレシオ解析 ヒストグラム解析 段差値自動計算 |
粗さ解析 ストレス計算 ベアリングレシオ解析 ヒストグラム解析 段差値自動計算 マルチリジョン解析 測定面積比計算 体積変動グラフ 自己相関解析 X/Y方向微分解析 |
オプション部品
- サンプルチャック：様々な試料に対応したチャックラインナップ
2~3inch対応ウエハチャック、4~6inch対応ウエハチャック、8inch対応ウエハチャック、2inch対応ポーラスチャック、6inch対応ポーラスチャック - 低触圧オプション
触圧：0.03mg~：ソフトマテリアル測定や極細スタイラスの使用時に推奨 - スタイラス：測定対象に合わせて幅広いスタイラス仕様に対応
曲率半径：2um、2.5um、5um、10um、12.5um、25um、0.2um、0.7um - 基準段差ゲージ：お客様で簡単にシステム校正が可能
校正証明書付き標準試料：段差88nm、450nm、940nm、8um
校正証明書付き標準試料(再校正可能)：段差88nm、180nm、450nm、940nm - 防振台：手動レベリング式卓上防振台、自動レベリング式卓上防振台、デスク型防振台、コンプレッサー、真空ポンプ
装置のアップグレード
- 性能をそのままに、大型ステージに対応したモデルへのアップグレードが可能
- ハンドラー付全自動測定への組み合わせも可能
- R＆Dに止まらず工程管理にも幅広く対応するシステム
- 自動ステージ：XYステージ12×12inchエンコーダ制御、360°回転
