特長
- 非接触型マグネットカップリングを採用
- メカニカルシール廃止によりシール部からの無漏洩を実現
- 吸気管直下型逆流防止を搭載し、チャンバー側への油の流出を防止
- 新たな設計思想で到達圧力付近での超低騒音を実現。分析機器に最適
仕様
Model GV135 | Model GV200 | |
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実行排気速度 | 50Hz:135L/min 60Hz:162L/min |
50Hz:200L/min 60Hz:240L/min |
到達圧力 | G.V.Close:5.0×10⁻¹ Pa G.V.Open:5Pa |
G.V.Close:5.0×10⁻¹ Pa G.V.Open:5Pa |
モータ出力 | 550W | 550W |
使用油 | SMR-100 | SMR-100 |
油量 | 1,000mL | 1,000mL |
騒音値 | 50Hz:46 dB (A) 60Hz:48 dB (A) |
50Hz:46 dB (A) 60Hz:48 dB (A) |
質量 | 28 kg | 31kg |
吸気管径 | KF25mm | KF25mm |
使用雰囲気温度範囲 | 7~40℃ | 7~40℃ |
最大寸法 | 166mm(W)×470mm(L)×241.5mm(H) | 166mm(W)×490mm(L)×241.5mm(H) |
RoHS対応 | 〇 | 〇 |
電源電圧 | AC1φ 100-120 / 200-240V | AC1φ 100-120 / 200-240V |
認証規格 | TUV、cTUVus、CE, UKCA | TUV、cTUVus、ATEX(category 3) |
※到達圧力はピラニ真空計による測定値です。マクラウド真空計による測定の場合、到達圧力が1.3Pa以下のポンプでは、1桁低い値になります。
※電源プラグおよび電源コードは付属していません。
ご使用上の注意
- 真空ポンプ油は性質上、運転とともに劣化し性能不足の要因となります。
定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。 - 逆流防止弁機構は、停電時等の緊急時に真空槽側にポンプ油が逆流するのを防ぐものです。
長時間停止する場合には真空側を大気圧に戻してください。 - 排気口からの油煙(オイルミスト)は大気圧付近で特に発生します。
- 5kPa以上の高い吸入圧力での連続運転には適しません。
- 排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。
- このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。
- 真空ポンプ運転中に過負荷保護装置が作動した場合、モータ巻線の温度が下がると自動的に運転を再開します。
事故防止のため、過負荷保護装置が作動した場合は、すぐに電源プラグを抜いてください。